Другие журналы

научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана

НАУКА и ОБРАЗОВАНИЕ

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл № ФС 77 - 48211.  ISSN 1994-0408

Публикации с ключевым словом - dummy-структуры

Найдено: 1
77-48211/368628 Методики оптимального размещения dummy-структур
# 05, май 2012
Гладких А. А., Макарчук В. В., Курейчик В. М.
Рассмотрены методы размещения dummy-структур на шаблонах топологических слоев СБИС, позволяющие минимизировать остаточный рельеф поверхности кристалла при создании многослойной металлизации, основанные как на моделировании операции химико-механической планаризации (ХМП) (MBDF), так и на использовании правил заполнения (RBDF). Приведен алгоритм расчета локальной плотности заполнения топологического слоя СБИС, используемой в методе заполнения топологии dummy-фигурами, базирующемся на моделировании операции ХМП.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2017 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)