Другие журналы

научное издание МГТУ им. Н.Э. Баумана

НАУКА и ОБРАЗОВАНИЕ

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл № ФС 77 - 48211.  ISSN 1994-0408

Публикации с ключевым словом - абразивное полирование

Найдено: 1
77-30569/240810 Исследование процесса химико-механического полирования деталей и узлов микросистемной техники
# 10, октябрь 2011
Холевин В. В.
Проведено теоретическое исследование процессов абразивной доводки, полирования и химико-механического полирования. Разработана методика расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности. Приведены результаты расчёта распределения величин износа по обрабатываемой поверхности для некоторых режимов обработки подложек. Установлено влияние режимов и условий обработки на распределение величин износа. Результаты исследования могут быть использованы при проектировании операций химико-механического полирования деталей и узлов микросистемной техники
 
ПОИСК
 
elibrary crossref ulrichsweb neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2017 «Наука и образование»
Перепечатка материалов журнала без согласования с редакцией запрещена
 Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)